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摘要:干涉仪是一种基于干涉原理的精密测量设备,具有多功能应用。本文主要介绍了干涉仪的原理及多功能应用情况。干涉仪通过测量光波干涉产生的信号,实现对物体表面形状、尺寸、表面粗糙度等参数的精确测量。其应用广泛,包括光学加...